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艺鑫电气维修德国 SINGULUS 溅镀电源、美国 MKS/ENI 溅镀电源、ADVANCED ENERGY 美国 AE 溅镀电源、RF 射 频电源、DC 直流电源、AC 交流电源。更专业的技术，更迅速的响应高速增长的等离子体薄膜制造工艺之尖端电源的维修。
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艺鑫电气同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、真空溅镀、研究所等行业提供专家级射频电源维修保养。为ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。
Ion Beam Drive ： ID-3500,ID-3501,IT-2500,IT-3500 DC( 直流系列 ) ：
MDX Series: MDX 5,MDX 10,MDX 20,MDX 30,MDX-052,MDX 1K,MDX 1.5K,MDX 500,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw(15-120KW)
Advanced Energy MDX MAGNETRON DRIVE SLAVE
ADVANCED ENERGY PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW
ADVANCED ENERGY PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW
DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW,Pinnacle Diamond 10KW,Pinnacle Diamond 15KW
ADVANCED ENERGY MDX-L Series: MDX-L6,MDX-L 6kWHALO,MDX-L12,MDX-L 12M,MDX-L 12M 650,MDX-L18
ADVANCED ENERGY MDX-10K-MASTER 2225-037-A
ADVANCED ENERGY MDX13
ADVANCED ENERGY MDX-MASTER 2225-000
ADVANCED ENERGY MDX SLAVE 2221-005-N
ADVANCED ENERGY 3152225-048A
ADVANCED ENERGY 2221-005-P
ADVANCED ENERGY 2225-009-W
ADVANCED ENERGY 2221-012-A
ADVANCED ENERGY AE05722B 2300 RFG 5500 NOVELLUS CONTROL
ADVANCED ENERGY SPARC Series: Sparc-le 20,Sparc-le V,Sparc VS E'Wave DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR
ADVANCED ENERGY AE RFX-II 3000 13.56Mhz RF Plasma PSU
AC( 交流 / 中频系列 ) ：
PE: PE 1000,PE 2500,PE 3750,PE 5000,PE-10K,P E-20K,PE-30K,PE-1000SG PE II PE II 5KW,PE II 10KW,PE II 60KW
PDX ：PDX 500,PDX 900-2V,PDX 1250,PDX 1400,PDX 2500,PDX 5000,PDX 7.5K,PDX 8000,PDZ 2200,MSD 350W
PDW 600,PDW 2200 ； PDP 2500,PDP 3500 ； PEP 250,PEP 2500,PEP 5000
Dressler LFGS:LFGS 1250A,LFGS:LFGS 1250B,LFGS:LFGS 1250C,LFGS:LFGS 1250D
RF ( 射频系列 ) ：
RFG ： RFG 80,RFG 1250,RFG 1250 HALO,RFG 1251,RFG 3000,RFG 3001,RFG 5500,RFG 2K-2V,RFDS 1250,RFDS 1250-A,RFDS 3000,RFDS 2Kw-2KV
APEX ： Apex 1513,Apex 2027,Apex 3013,Apex 4027,Apex 5513,Apex 7kW/13,Apex 10kW/13,Apex 3513,Apex 10013,Apex 8013,Atlas 2,
Atlas 1513,Atlas 3013,Atlas 2504,Atlas 2027,Atlas 2012,Atlas 4012,Atlas 5002,Atlas 5012,Atlas 5013,Atlas 5027,Rapid F
RFX ： RFX 600,RFX 600A,RFX 1250,RFX 2500,RFX 5500,RFG-AZX
RFX II ： RFX II 1250,RFX II 3000,RFX II 5500
HFG ： HFG 2500,HFG 5000,HFG 4M
HFV ： HFV-3K,HFV-5K,HFV-8K,HFV-L 3KW
Ovation VHF:VHF-2760W,VHF-2060,VHF-2560,VHF-35162
ICP Generator:ICP-1KW,ICP-1.5KW,ICP-1.6KW,ICP-2KW
Dressler HPG:HPG 03300,HPG 13150,HPG 13300,HPG 27300
Dressler Cesar: Cesar 0210,Cesar 0220(200v/400v),Cesar 0225(200v/400v)
Cesar 0230(200v/400v),Cesar 0250(200v/400v),Cesar 026,Cesar 0410,Cesar 0420(200v/400v)
Cesar 0425(200v/400v),Cesar 0450(200v/400v),Cesar 046,Cesar 1310,Cesar 1312,Cesar 1320(200v/400v)
Cesar 1325(200v/400v),Cesar 133,Cesar 1330(200v/400v),Cesar 1350(200v/400v),Cesar 136,Cesar 2710 |
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